该晶圆产生厂隶属于华中区域,注意加工8厘米半导体材料晶圆,单日废水处理工艺废气量约800吨。考虑到加工方式中的使用大量氢佛酸进行晶圆蚀刻,从而导致废水处理工艺中氟化物含量达到200-300mg/L,远超的国家废气的标准(10mg/L下)。
工业废水材料及源头
污水最主要的原于五个流程:
晶圆蚀刻工艺
:含高含量氟化物(HF)、硝酸钠及小量巨资属
化工机诫增加光泽(CMP)生活污水
:含nm级硅颗料、充分络合剂
装置难以清理废液
:含异丙醇、氯离子等有机质物
补救技艺过程
适用"普通机械结晶+混凝土结晶+深入过滤器"三阶段外理软件系统:
6级操作
:污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,演变成氟化钙沉淀自己,氟化物清掉率达85%
特殊整理
:更改PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),弄掉氢氧化铁态水废弃物
三级分销办理
:进行多物质过滤装置器和灵活性炭包粘附,留水氟化物浓度值增强在8mg/L之下
重要的环保设备包含:pH自功可以调节软件系统、斜管凝固池、板框压泥机(污泥处理烘干)。
从而使用效果
该项目进行五年监测网数剧提示:
氟化物峰值渗透压:7.2mg/L(底于国内要求)
COD弄掉率:92%
活性污泥含水分率:≤65%
年的回收合理利用氟化钙副商品约150吨,建立资源量化合理利用