该厂为8英尺晶圆生產线设备配套的超纯净水体统，每一天行成含硅生产废水150吨。生产废自来水中虽无高价属，但硅分量高易结渣，且内阻率需达标18MΩ·cm功能回收。同一加工处工院艺未能足够新修订的《电子为了满足电子时代发展的需求，轻工业水破坏物排卸标准》（GB39731-2020）特备排卸标准值。 废水处理方法含量特征 主要是废弃物物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、科粒硅（比表面积0.1-1μm） 特定特殊要求 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 水体因素 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物姿态缜密 除理方法环节 创新发展采取"梯级膜转移+电去铁离子"搭档加工： 微滤预清理 ：1μm瓷砖膜屏蔽广告大粒状硅，通量保持80LMH 化合物互相交换光敏树脂 ：D201大孔环氧树脂选定性降解硅酸氧分子 二次RO机系统 ：首个段收废率60%，二、段选择高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 ：瞬时电流相对密度2A/m²，一直弄掉残余物铁离子 UV紫外线消菌 ：254nm太阳光的太阳极为线极量40mJ/cm² 技术性闪光点 制作转用阻硅剂（有机化学胺类结合物），推迟膜弄脏周期怎么算3倍 EDI版块革新流道结构设计，硅清除率升级至99.8% 线下硅介绍仪（测试範圍0.1-500μg/L）完成精细管控 行驶实效 经第三个方判断： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L降低0.3μg/L 装置回笼率从原40%增强至68% 膜根换时间是拉长至5年，年运转的成本影响35%