深圳某半导体心片心片加工厂厂，晶圆加工整个过程中所产生含硅、氟的特别废气，制定加工的规模1200吨/日。废气组成成分繁杂，内含纳米级级硅颗粒剂及盐酸，传统式加工方式方法没办法合格。 工业废水成份及从何而来 关键的排放物 ：悬浊液硅（100-500nm粒度）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 源于工作 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP生物机拋光废渣（40%）、机器喷洗水（15%） 整理技术工作流程 全新分为"化学上的放置+特殊工种膜分离法"技能行车路线： 钙盐奠定 ：污泥脱水氯化钙避开氟阴阳离子（生产CaF2放置） 水解酸化池反馈 ：符合斜管沉淀池剂进行橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜虚报冒领微细小粒 反参透软件系统 ：脱盐率>98%，收集率75% 蒸馏心得 ：浓水段完成氟化物零排出 最后成果 氟化物浓度值：<8mg/L（底于发达国家二级标淮10mg/L） 硅纯度：<5mg/L 水影视资源回收利用率：70%适用于降温塔保湿补水 危险废弃物回收利用：蒸馏食物残渣量较傳統艺下降60%